電子顯微鏡，簡(jiǎn)稱電鏡，電子顯微鏡是以電子束為照明源，通過電子流對(duì)樣品的透射或反射及電磁透鏡的多級(jí)放大后在熒光屏上成像的大型儀器，經(jīng)過五十多年的發(fā)展已成為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可缺少的重要工具。電子顯微鏡技術(shù)的應(yīng)用是建立在光學(xué)顯微鏡的基礎(chǔ)之上的，那么電子顯微鏡成像原理是怎樣的呢？下面微谷光電小編來給大家介紹。

　　電子顯微鏡成像原理是怎樣的：

　　電子顯微鏡通過用聚焦電子束掃描樣品的表面來產(chǎn)生樣品表面的圖像。 

　　電子與樣品中的原子相互作用，產(chǎn)生包含關(guān)于樣品的表面測(cè)繪學(xué)形貌和組成的信息的各種信號(hào)。電子束通常以光柵掃描圖案掃描，并且光束的位置與檢測(cè)到的信號(hào)組合以產(chǎn)生圖像。

　　電子顯微鏡可以實(shí)現(xiàn)分辨率優(yōu)于1納米。樣品可以在高真空，低真空，濕條件（用環(huán)境掃描電子顯微鏡）以及寬范圍的低溫或高溫下觀察到。

　　最常見的電子顯微鏡模式是檢測(cè)由電子束激發(fā)的原子發(fā)射的二次電子。可以檢測(cè)的二次電子的數(shù)量，取決于樣品測(cè)繪學(xué)形貌，以及取決于其他因素。

　　通過掃描樣品并使用特殊檢測(cè)器收集被發(fā)射的二次電子，創(chuàng)建了顯示表面的形貌的圖像。它還可能產(chǎn)生樣品表面的高分辨率圖像，且圖像呈三維，鑒定樣品的表面結(jié)構(gòu)。

　　以上內(nèi)容就是對(duì)電子顯微鏡成像原理是怎樣的介紹了，電子顯微鏡是20世紀(jì)的重大科學(xué)技術(shù)發(fā)明，是利用電子與物質(zhì)作用所產(chǎn)生之訊號(hào)監(jiān)定微區(qū)域晶體結(jié)構(gòu)，微細(xì)組織，化學(xué)成份，化學(xué)鍵結(jié)和電子分布情況的電子光學(xué)裝置。常用的有透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡。與光學(xué)顯微鏡相比電子顯微鏡用電子束代替了可見光，用電磁透鏡代替了光學(xué)透鏡并使用熒光屏將肉眼不可見電子束成像。